高精密測量系統儀器配套服務商
0512-5523-281813913288702
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? 機型已升級換代
? 完善的高精度輪廓測量儀，飛速進步的高精度形狀輪廓測量系統
? 采用新型直式測臂檢測器，擴大測量范圍的同時減低對工件的干擾
? 繁瑣的校正也可以一次性完成，高水平的指示精度
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| 貨號 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W8 | |
| 測量范圍 | X軸 | 100mm | 100mm | ||||
| Z1軸(檢出器) | 60mm（水平位置±30mm） | ||||||
| Z2軸（立柱）移動范圍 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm | |||
| 精度20℃ | X軸 |
±（0.8+0.01L）μm L=驅動長度（mm） 寬范圍：1.8μm/100mm 窄范圍：1.05μm/25mm |
±（0.8+0.02L）μm L=驅動長度（mm） 寬范圍：4.8μm/200mm 窄范圍：1.3μm/25mm |
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| Z1軸（檢出器） | ±（1.6+丨2H丨/100）μm H=水平位置上的測量高度（mm） | ||||||
| 驅動部 | X軸 | 激光全息光柵尺 | |||||
| Z2軸（立柱） | 1μm | ||||||
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