高精密測量系統儀器配套服務商
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?選用可提供更高電子束亮度以增強圖像分辨率和降低噪聲的成熟技術六硼化鑭（LaB6）電子槍，讓掃描電子顯微鏡在最大圖像質量下發揮出色的檢測性能。
?借助可變壓力操作模式，體驗非導電樣品的卓越成像和分析
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| 型號 | 蔡司 EVO 10 | 蔡司 EVO 15 | 蔡司 EVO 25 | |
| 分辨率 | 2 nm，3 nm @ 30 kV SE 配有 LaB6，W | |||
| 6 nm，8 nm @ 30 kV SE 配有 LaB6，W | ||||
| 9 nm，20 nm @ 30 kV SE 配有 LaB6，W | ||||
| 放大倍率 | ＜7–1,000,000× | ＜5–1,000,000× | ＜5–1,000,000× | |
| 樣品室規格（直徑X高度） | 310mmX220mm | 365mmX275mm | 420mmX330mm | |
| 樣品最大高度 | 100mm | 145mm | 210mm | |
| 圖像處理 | 32,000 × 24,000 像素；通過積分平均值法采集信號（掃描速度 2 或以上） | |||
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